摘要
本发明涉及封装结构技术领域,公开了一种激光雷达芯片的封装结构、激光雷达及封装方法,封装结构包括封装管壳、第一转接板、第一硅光芯片、折射率匹配层、第二转接板和第二硅光芯片;第一转接板固定设置于封装管壳的底部;第一硅光芯片的第一表面上具有阵列设置的第一出射天线,第一硅光芯片上与第一表面相对的表面固定设置于第一转接板上;第二硅光芯片的第二表面上具有阵列设置的第二出射天线,第二表面通过折射率匹配层固定在第一表面上,第一表面和第二表面错位设置,第二硅光芯片的出射端面和第一硅光芯片的出射端面齐平;第二转接板与第二硅光芯片上与第二表面相对的表面固定连接。本发明能够增加激光雷达出射天线的通道数量。
技术关键词
硅光芯片
激光雷达芯片
金属电极
折射率匹配层
转接板
引线键合工艺
管壳
凹槽结构
封装方法
氮化铝陶瓷基板
天线
封装结构技术
波导结构
管脚
导线
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