晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置

本申请提供了一种晶圆缺陷检测方法及晶圆缺陷扫描装置，其中，晶圆缺陷检测方法应用于晶圆缺陷扫描装置，所述晶圆缺陷扫描装置包括多个镜头，所述晶圆缺陷检测方法包括：检测每个所述镜头的能量，判断所述镜头是否处于有效生命周期内；通过处于有效生命周期内的所述镜头对晶圆进行扫描，以得到所述晶圆的扫描图像；将所述扫描图像进行调整得到调整图像，以突出缺陷区域和正常区域的差异；分割所述调整图像的所述缺陷区域和所述正常区域。本申请提供的晶圆缺陷检测系统实现了对所述镜头使用情况的监测，同时消除了多个所述镜头扫描后图像不同区域的差异，提高了晶圆缺陷检测的效率和准确性。