基于x切单晶铌酸锂的微型横波压电微机械超声换能器的制备方法及横波探头

本发明涉及电子材料与器件技术领域，具体涉及基于x切单晶铌酸锂的微型横波压电微机械超声换能器制备方法及横波探头，所述方法包括：对铌酸锂晶体进行生长以及x切割，得到自极化铌酸锂晶圆；对自极化铌酸锂晶圆进行图形化处理；基于预设切向角度对图形化处理后的自极化铌酸锂晶圆进行切割，得到不同切向角度下的铌酸锂晶圆切片；利用不同切向角度下的铌酸锂晶圆切片制备横波探头。其目的在于，实现制备PMUT横波器件，解决传统横波探头体积大、难以阵列化集成的局限性。