半导体装置

本发明涉及半导体技术领域，公开一种半导体装置。半导体装置包括：容纳槽，容纳槽用于容纳清洗液；真空吸附机构，真空吸附机构用于吸附待分离的互联器件，互联器件由两个器件部彼此互联形成；在对互联器件执行分离操作时，真空吸附机构吸附两个器件部中的一个器件部后架设在容纳槽的开口处，使得两个器件部的互联区域置于容纳槽内的清洗液中；超声波发生模块，用于在对互联器件执行分离操作时，向清洗液中施加超声波。提高互联器件回收利用率和降低工艺成本。