一种晶圆键合过程高温形变自补偿算法

本发明提供了一种晶圆键合过程高温形变自补偿算法，包括如下步骤，对晶圆载板进行加热，获取晶圆载板加热过程中不同温度下的形变量；构建形变量随温度变化的温度形变量变化曲线；将温度形变量变化曲线划分为多段连续的温度区间形变斜率；在晶圆键合加压过程中，实时检测晶圆载板的实际温度，找出实际温度所属温度区间，并计算出对应的晶圆载板膨胀型变补偿值；控制系统控制压合装置，进行对应的压入量形变补偿，使得在晶圆载板升温过程中，始终保持预定的压入量，从而进行精准的压合轨迹控制，保证了产品生产加工的品质及稳定性。