一种关于晶圆制造工艺的模糊知识图谱构造方法、介质、设备、产品

本发明提出一种关于晶圆制造工艺的模糊知识图谱构造方法，涉及模糊知识图谱技术领域，方法包括：采用三维卷积网络提取扫描电子显微镜图像的空间缺陷特征X，通过双向LSTM对传感器时序数据进行编码，得到特征集合Y，从文本中获取基于阻抗谱解析晶圆的电学性能参数，得到特征集合Z；基于文本构建模糊知识对特征集合X、Y和Z进行强化，构建模糊特征集及时序特征集，并构建加权评分模型，根据加权评分模型从文本中筛选候选集；从候选集中抽取信息，构建四元组结构G=(实体，关系，时间属性，模糊规则)；以G为输入，通过递归重构贡献方法生成时序模糊规则，增量更新知识图谱。本发明突破传统方法对时空耦合与不确定性关联的表征瓶颈。