摘要
本发明实施例公开一种版图检查方法及装置、电子设备、存储介质,涉及集成电路技术领域,能够有效提高对版图的三维互连检查的精确性。所述方法包括:获取待检查的三维互连版图;三维互连版图包括互连版图层,互连版图层包括第一晶粒中与晶粒间的三维互连相关的结构所对应的第一版图层,以及第二晶粒中与晶粒间的三维互连相关的结构所对应的第二版图层;第一晶粒和第二晶粒用于彼此堆叠形成三维芯片;根据各互连版图层的图案分布信息,确定相邻版图层之间,各版图图案的相对位置关系;根据相对位置关系是否符合预设规则,对三维互连版图进行三维互连检查。本发明适用于三维芯片的版图设计中。
技术关键词
三维互连
版图图案
可执行程序代码
检查方法
关系
检查单元
电子设备
模块
集成电路技术
可读存储介质
存储器
处理器
检查装置
芯片
通孔
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