摘要
本发明公开了一种用于氮化镓集成电路电性的失效分析方法及系统,包括如下步骤:对氮化镓集成电路进行初步的电性测试,收集第一组电性测试数据;然后,对数据进行预处理,以提高后续分析的准确性;利用训练好的人工智能算法对预处理后的第一组电性测试数据进行分析,识别潜在的失效模式或异常特征;对氮化镓集成电路进行红外成像,获取其热分布图像,通过分析热分布图像中的热点或异常温度区域,结合集成电路的布局和电路设计信息;本发明的有益效果是:首次将人工智能与红外成像技术应用于氮化镓集成电路的失效分析中,实现了技术上的融合与创新;通过人工智能算法的智能分析和红外成像技术的直观展示,显著提高了失效分析的效率和准确性。
技术关键词
失效分析方法
集成电路
氮化镓
人工智能算法
红外成像技术
失效分析系统
电性测试设备
分析模块
成像模块
图像处理算法
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