一种基于多模态微机械检测的加速度测量方法

本发明公开了一种基于多模态微机械检测的加速度测量方法，属于微机电传感器技术领域。其基本工作原理为：通过设计单轴的多模态谐振子系统，包含多个质量块和弹性梁，利用准静态和多阶振动模态对单轴加速度引起的位移进行同步检测，并设计多模态滤波器实现各阶位移检测量的权重分配，加权融合得到加速度引起质量块的最终位移量，开环时该位移可直接表征加速度大小，闭环时使该位移恒定的反馈控制电压可以表征加速度大小。该发明可有效抑制共模误差、温度漂移并拓展带宽。