摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,公开了一种基板的加工方法及结构,包括:步骤S100:在玻璃晶圆一面或双面进行电路制作,然后切割制得若干玻璃板单元;步骤S200:在芯板框架上制作若干第一定位靶标和若干安装腔体;步骤S300:在芯板框架底面贴设粘接层,依据定位靶标,将玻璃板单元贴设在安装腔体内的粘接层上,玻璃板单元与安装腔体一一对应;步骤S400:在玻璃板单元的一面或两面覆盖封胶层并进行压合;步骤S500:在封胶层设置与玻璃板单元信号连接的第一信号导出孔。有效解决了现有玻璃板加工过程中易碎的难题,提高了玻璃晶圆材料的利用率。
技术关键词
定位靶标
玻璃板
芯板
框架
基板
腔体
晶圆
芯片封装技术
电镀工艺
电路
缩孔
双面
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信号
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