一种基板的加工方法及结构

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一种基板的加工方法及结构
申请号:CN202411840755
申请日期:2024-12-13
公开号:CN119742233A
公开日期:2025-04-01
类型:发明专利
摘要
本发明涉及芯片封装技术领域,公开了一种基板的加工方法及结构,包括:步骤S100:在玻璃晶圆一面或双面进行电路制作,然后切割制得若干玻璃板单元;步骤S200:在芯板框架上制作若干第一定位靶标和若干安装腔体;步骤S300:在芯板框架底面贴设粘接层,依据定位靶标,将玻璃板单元贴设在安装腔体内的粘接层上,玻璃板单元与安装腔体一一对应;步骤S400:在玻璃板单元的一面或两面覆盖封胶层并进行压合;步骤S500:在封胶层设置与玻璃板单元信号连接的第一信号导出孔。有效解决了现有玻璃板加工过程中易碎的难题,提高了玻璃晶圆材料的利用率。
技术关键词
定位靶标 玻璃板 芯板 框架 基板 腔体 晶圆 芯片封装技术 电镀工艺 电路 缩孔 双面 包裹 信号 钻孔 坐标 激光 顶端
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