一种单晶硅非球面镜片及其数控抛光工艺

本申请涉及光学加工技术领域，提供了一种单晶硅非球面镜片及其数控抛光工艺，利用数控抛光机进行，包括粗抛、精抛、精修等主要步骤，并针对单晶硅的特性调整工艺参数，从而能够对直径320mm以下单晶硅非球面镜片进行抛光，借助数控抛光机床可以使优化前面型PV达到0.3μm以下，表面光洁度达到40/20，对320mm以上的单晶硅非球面镜片也具有借鉴意义。