一种片上计算型高光谱成像装置

本发明提供了一种加工简单，成本低廉的片上计算型高光谱成像装置。改装置基于F‑P腔的片上计算型高光谱成像系统，可实现400~1000nm，间隔10nm的61通道高光谱图像重建。由于超表面和多层薄膜实现400~1000nm宽谱随机编码需要精心设计，实际加工与设计相差较大，且700~1000nm波动较小。为此，我们使用F‑P腔设计了四张波动性较大且相关性较小的滤光片组，并按照马赛克阵列方式（2×2）排布，实现片上的计算型高光谱成像系统。本发明的F‑P腔在非晶硅上依次镀Ti‑Ag‑Ti‑ZrO2‑Ti‑Ag‑Ti‑SiO2,其中Ti为5nm、Ag为15nm、SiO2为20nm、中间的ZrO2四个滤光片分别为1000、1050、1100、1150nm。其中，ZrO2只需将相同的掩模板移动三次，极大的减小了滤光片加工难度和时间。最后通过光谱重建算法实现400~1000nm，间隔10nm的61通道高光谱图像重建。