摘要
本申请涉及技术领域,具体而言,涉及一种含能自毁芯片的制备方法、含能自毁芯片及应用。所述含能自毁芯片的制备方法,包括:提供基座和芯片本体,所述基座具有相对的第一表面和第二表面;在所述第一表面形成沉槽;在所述沉槽内形成第一含能材料层;在所述第二表面形成半导体桥,所述半导体桥的加热部分与所述第一沉孔位置相对,所述半导体桥用于通电释放热量以引爆所述第一含能材料层;将所述第一表面与所述芯片本体贴合固定。根据上述方案制备的含能自毁芯片,可以改善现有含能自毁器件板级集成设计困难、激发引爆响应时间长和能耗高的问题。
技术关键词
自毁芯片
半导体
加热电极
沉孔
导电层
基座
超声波
存储设备
电阻
掩膜
镀膜
能耗
参数
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