基板处理装置及基板处理方法

AITNT
正文
推荐专利
基板处理装置及基板处理方法
申请号:CN202411857121
申请日期:2024-12-17
公开号:CN120184046A
公开日期:2025-06-20
类型:发明专利
摘要
提供一种能够决定晶片的形状异常的基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置具备检测与基板的表面形状对应的信号的形状检测模块和决定基板的形状异常的控制装置。
技术关键词
输送机器人 形状检测 基板 流体喷射装置 可动传感器 研磨模块 检测传感器 流体喷射喷嘴 致动器 信号 传感器配置 基准 对象 定义 轨迹
系统为您推荐了相关专利信息
1
一种基于直接引线键合的分立器件封装结构
分立器件封装结构 功率半导体芯片 支撑外壳 引线端子 金属基板
2
封装结构
封装结构 阻挡结构 散热盖 顶盖板 基板
3
射频前端模组及通信设备
射频前端模组 晶体管 焊盘 芯片 电感
4
养护薄膜包覆设备
爬墙机器人 包覆设备 薄膜箱 贴膜组件 胶水箱
5
半导体器件及其制造方法和电子设备
半导体器件 芯片模块 电子设备 基板结构 电源模块
添加客服微信openai178,进AITNT官方交流群
驱动智慧未来:提供一站式AI转型解决方案
沪ICP备2023015588号