基板处理装置及基板处理方法
申请号：CN202411857121
申请日期：2024-12-17
公开号：CN120184046A
公开日期：2025-06-20
类型：发明专利
摘要
提供一种能够决定晶片的形状异常的基板处理装置及基板处理方法。基板处理装置具备检测与基板的表面形状对应的信号的形状检测模块和决定基板的形状异常的控制装置。
技术关键词
输送机器人
形状检测
基板
流体喷射装置
可动传感器
研磨模块
检测传感器
流体喷射喷嘴
致动器
信号
传感器配置
基准
对象
定义
轨迹
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