一种晶圆厂跨区域生产规划方法、设备、介质及产品

本申请实施例涉及晶圆生产规划领域，公开了一种晶圆厂跨区域生产规划方法、设备、介质及产品。调用POLY etch设备排程调度算法，得到POLY etch设备排程结果；根据预设库存水平和所述POLY etch设备排程结果，得到第一批次投产的lot；根据所述第一批次投产的lot，调用LITHO设备排程调度算法并添加第一约束条件，得到第二批次投产的lot；根据所述第二批次投产的lot,调用BARC设备排程调度算法并添加第二约束条件，得到第三批次投产的lot。通过调用各区域的排程调度算法并设定相应的约束条件，能够有效协调不同加工区域的生产节奏。可以至少用以解决设备利用率低导致制品报废的技术问题。