一种剩余硅厚度的测量方法、系统、装置及存储介质

本发明提供了一种剩余硅厚度的测量方法、系统、装置及存储介质，通过改变物镜与样品之间的距离，获取采样图像集，对采样图像集进行清晰度评价，基于清晰度评价值数据集，利用预设条件进行筛选得到对应清晰图像；最后根据清晰图像、清晰图像对应的物镜位置以及预设算法计算，可以快速得到高精度的剩余硅厚度测量结果。同时，利用自制的粗糙表面硅片及其成像对应的物镜位置，能够测量出光滑表面晶圆表面对应的物镜位置，实现测量光滑表面晶圆的剩余硅厚度，进一步提高了对晶圆的剩余硅厚度测量的精度。