一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法

本发明公开了一种电子束物理气相沉积热障涂层的厚度监测方法，涉及热障涂层制备技术领域，包括以下步骤：将监测装置布置在真空腔体内部，选取合适材料的靶材；通过电子束物理气相沉积工艺制备热障涂层，获取工艺过程中的多种参数；通过计算机利用自定义函数公式计算热障涂层的厚度；得到计算值后，停止工艺过程，测量试样的实际厚度，与计算值进行对比分析。本发明与现有技术相比，能够在高真空、高温的电子束物理气相沉积工艺过程中通过获取靶材消耗质量，结合多种参数计算出工艺过程中热障涂层的厚度，提升了工艺和涂层质量的稳定性，同时避免出现多次返工和不良品的情况，降低了工艺成本，具有较好的实际应用前景。