芯片崩边缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质

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芯片崩边缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质
申请号:CN202411871080
申请日期:2024-12-18
公开号:CN119887643A
公开日期:2025-04-25
类型:发明专利
摘要
本发明实施例公开了一种芯片崩边缺陷检测方法、装置、电子设备、存储介质。方法包括:自初始图像中确定待测芯片的环形边缘区域;对环形边缘区域进行平滑处理以得到第一图像;对第一图像进行梯度计算以得到梯度图像;根据梯度图像中的各像素的梯度值确定初始图像中待测芯片的崩边缺陷区域。这种方案可以使崩边缺陷的检出率较高,缺陷检测结果较为准确,且缺陷检测效率较高。
技术关键词
待测芯片 图像 计算机程序指令 掩膜 环形 缺陷检测装置 电子设备 对比度 计算机程序产品 像素点 动态 模块 存储器 处理器 颜色
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