一种晶圆产能规划方法、设备、介质及产品

本申请实施例涉及晶圆加工管理领域，公开了一种晶圆产能规划方法、设备、介质及产品。根据排产调度算法对各机台设备进行定时排程，得到第一排程结果，并将所述第一排程结果进行存储；根据所述第一排程结果，获取各机台设备的不可用时间，并将所述不可用时间作为下次定时排程的数据输入所述排产调度算法并添加约束，得到第二排程结果；在下次定时排程任务中，基于所述第二排程结果继续调整排程结果，直至满足预设的停止条件；在发生异常情况下，采用锁单逻辑对已排程的生产任务进行调整。可以至少用以解决在生产过程出现异常情况导致晶圆产能降低的问题。