摘要
本申请公开了一种正交光栅偏振去噪的扫描式光谱检测芯片及其应用。所述检测芯片包括:可绕旋转轴旋转的承载机构,其至少用于相对入射光方向进行角度扫描;间隔设置在承载机构表面上的两个光谱检测单元,各光谱检测单元均包括探测器和角度敏感的一维光栅结构,一维光栅结构设置在探测器上,两个光谱检测单元所含的探测器和一维光栅结构均相同,并且两个光谱检测单元所含的一维光栅结构的光栅取向正交。本申请的所述检测芯片利用角度敏感的一维光栅结构对不同偏振光的高响应对比度,在扫描测试过程中通过两个正交光栅集成的完全相同的光谱探测单元进行实时的信号差分,可以有效抑制噪声,大幅提高信噪比,显著提高光谱检测精度。
技术关键词
光栅结构
检测芯片
承载机构
接触电极
工作电极
光谱检测方法
光电流
可绕旋转轴
探测单元
金属材料
半导体材料
热电探测器
布线
取向
光电探测器
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样本
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