一种微差压传感器

本申请公开一种微差压传感器，包括基板、外壳体和芯片模组。外壳体与基板固定连接，并与基板围合形成容置腔；芯片模组位于容置腔内部，并固定于基板上。基板上设置有均压槽，外壳体上设置于贯穿外壳体的透气孔，均压槽配合透气孔形成均压通道，以实现容置腔内部与外界环境的连通。通过上述技术特征的设置，能够提高微差压传感器的泄气效率，进而提高微差压传感器工作的可靠性。