摘要
本申请涉及三维芯片领域,一种平面液冷芯片包括封装罩、泵体和若干芯片组件,所述泵体和芯片组件均位于封装罩内,若干所述芯片组件堆叠,所述芯片组件和/或所述芯片组件之间具有冷却通道,所述封装罩内、冷却通道内填充冷却剂,所述泵体用于驱使冷却剂流动。泵体工作,冷却剂在封装罩、冷却通道内流动,各个芯片组件的热量均可直接通过冷却剂传递至封装罩,提高堆叠芯片的散热效率;同时,冷却剂预先填充入封装罩内:一方面,可以掌控冷却剂的品质;另一方面,本申请提供的平面液冷芯片、目前市面上流通的常规封装芯片,两者的使用方法相同,便于用户使用。
技术关键词
芯片组件
冷却剂
泵体
封装芯片
泵壳
压电陶瓷
驱动组件
堆叠芯片
通道
电磁体
瓣膜
基板
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