缺陷的检测方法、装置、电子设备以及存储介质

本发明提供了一种缺陷的检测方法、装置、电子设备以及存储介质。所述方法包括对待测晶圆粒的待测图像进行特征提取操作，以得到第一图像特征；基于所述第一图像特征、基准图像特征和第一查询信息，通过训练后的语言模型，生成所述待测晶圆粒的检测结果。一方面，本发明通过语言模型输出的检测结果相较于使用深度学习模型输出的预测标签表示检测结果的方式，本发明中的检测结果可以更加灵活，有利于适配晶圆或晶圆粒中存在复杂、繁多缺陷的场景；另一方面，本发明中还使用了基准图像特征作为语言模型的输入之一，进而可使得语言模型专注于待测晶圆粒与基准晶圆粒的不同，有利于提高检测结果的准确性。