一种多轴超快激光超声复合加工装备

本发明涉及激光加工技术领域，尤其是一种多轴超快激光超声复合加工装备。五轴联动加工设备用以在X轴、Y轴、Z轴、A轴以及B轴五个不同的轴向进行同时或单独运动，待加工工件夹持在工作台上；激光发生器安装在五轴联动加工设备的横梁上；超声振动主轴安装在五轴联动加工设备中Z轴安装座上；四轴小运动台安装在五轴联动加工设备中Z轴安装座上，用以精确调整振镜的空间位置和激光光束的旋转角度，从而与超声振动主轴刀具形成不同激光入射角度的复合加工；三维扫描仪用于获取待加工工件的6自由度点云模型。将三维扫描仪、振镜和超声振动主轴集成在五轴联动加工设备中，提高设备紧凑性和操作便利性；灵活性增强，适用于硬光路传输的超快激光器。