三电极气体传感器的性能优化方法、制备方法及三电极气体传感器阵列

本申请涉及一种三电极气体传感器的性能优化方法、制备方法及三电极气体传感器阵列。通过真空泵将三电极气体传感器中的气体排出，以达到真空状态，然后将预设浓度的混合气体通入三电极气体传感器中，并在三电极气体传感器内部压强达到一个标准大气压的情况下停止输气，记录此时三电极气体传感器输出的第一电流值；调整三电极气体传感器中预设气体的浓度，并记录此时三电极气体传感器输出的第二电流值，根据第一电流值、第一电流值对应的预设气体的浓度、第二电流值、以及第二电流值对应的预设气体的浓度，确定极间距对应的灵敏度，调整极间距，直至获得的灵敏度为灵敏度最大值，确定灵敏度最大值对应的极间距为三电极气体传感器的目标极间距。