一种用于氮化镓半导体芯片SOC测试设备

本发明公开了一种用于氮化镓半导体芯片SOC测试设备，涉及到芯片SOC测试设备领域，其包括测试主机架和显微镜，所述测试主机架上安装有安装支架，所述显微镜安装在所述安装支架上。需要说明的是，在本发明中，在探针台使用完毕后，两个启闭架带动多个镜头封闭盒和从动封闭盒封闭，此时，显微镜的物镜和目镜以及载物台被封闭，以尽量避免显微镜的物镜和目镜以及载物台被灰尘、湿度、磁场等因素影响，保证探针台正常运行的同时，使得鼓风机和抽风机启动，对物镜、目镜以及载物台进行吹风清理；此外，通过清理滑条往复移动，对显微镜的物镜和目镜以及载物台进行自动清理，实现充分清理的目的，保证测试工作的正常进行，同时保证测试结果的准确。