一种基于模糊思想的多条件晶圆调度方法、装置

本申请提出了一种基于模糊思想的多条件晶圆调度方法，包括：S1、获取调度任务信息，根据调度任务信息确定总调度步数；S2、计算当前调度步数；S3、引入与限制条件对应的表征参数，所述限制条件包括：各单元均匀老化的要求和晶圆在单元内的滞留时间；S4、对所述表征参数进行预处理，并基于模糊思想输出各单元调度优先级情况；S5、引入各表征参数的重要性系数及各待调度单元的状态，结合各单元调度优先级情况计算最终执行调度任务的单元号；S6、根据当前调度步数，判断是否调度完毕，若未完毕则继续执行S2，否则结束。本方案是一种适应性很强的方法，它将简单可靠地涵盖晶圆调度许多复合场景，从算法角度最大程度发挥设备的潜力。