基于3D视觉技术的晶圆抓取防呆方法及装置

本发明涉及基于3D视觉技术的晶圆抓取防呆方法及装置，方法包括：获取待识别晶圆的2D图像和3D点云数据；采用卡塞角模型匹配方式判断2D图像是否完整，若完整，则获取卡塞角坐标并对2D图像进行反放射变换，得到矫正后的卡塞图像；根据矫正后的卡塞图像，采用预先训练的深度学习模型，识别每一层晶圆上的二维码位置，根据每一层晶圆的二维码位置，获得每一层晶圆的位置信息；根据3D点云数据和每一层晶圆的位置信息，获取每一层滤波后的点云数据以及点云数据的聚类结果；根据每一层晶圆的二维码位置和聚类结果，进行多模态融合判断，获取融合判断的结果。上述方法使得防呆识别更稳定且确保半导体自动化生产线的稳定。