检查装置、学习数据生成方法、学习模型生成方法以及对象物的制造方法

提供能够利用学习模型来确定缺陷的种类的技术。检查装置具备：确定部，其使用表示学习对象物的广域学习图像数据来确定规定的缺陷在学习对象物中的缺陷位置；显微图像生成部，其通过对确定完毕的缺陷位置进行显微拍摄来生成表示规定的缺陷的显微学习图像数据；及获取部，其获取种类信息与缺陷图像数据的组合，所述种类信息表示使用生成完毕的显微学习图像数据而得到的规定的缺陷的种类，所述缺陷图像数据表示所述广域学习图像数据所包含的规定的缺陷，确定部利用学习模型并使用表示检查对象物的广域检查图像数据来确定检查对象物内的缺陷的种类，学习模型是通过将获取完毕的种类信息与缺陷图像数据的所述组合用作学习数据的机器学习而生成的。