一种晶圆传输机械手指结构的优化方法及晶圆传输机械手指结构

本发明公开了一种晶圆传输机械手指结构的优化方法及晶圆传输机械手指结构，包括如下步骤：对晶圆传输机械手指结构建立数学模型；S2，设定结构参数的约束条件和取值范围；S3，构建目标函数；S4，通过优化方法获得目标函数的最优解以获取最优结构参数。本发明通过建立晶圆传输机械手指结构的数学模型，并定义体积函数，能够精确计算和预测结构的体积，从而在设计阶段就对体积进行优化，减少不必要的材料使用，降低结构重量；优化后的机械手指结构由于重量减轻，能够减少在运动过程中的惯性，从而提高传输效率和响应速度，减少能耗，减少惯性晃动，提高传输精度和稳定性。