终点检测装置、蚀刻控制系统、终点检测方法以及记录介质

本发明提供一种终点检测装置、蚀刻控制系统、终点检测方法以及记录介质，所述终点检测装置检测多层膜在蚀刻处理中的终点，具备：测定部，其测定随着蚀刻处理而变化的物理量；终点检测部，其基于由测定部得到的测定值来检测以预定的检测算法检测终点的作为对象的膜的终点；算法变更部，其基于以前对与处于蚀刻处理中的作为对象的膜相同的多层膜中的、与作为对象的膜同一种类的其他膜进行蚀刻处理时由测定部得到的测定值，来变更处于蚀刻处理中的膜的所述检测算法。