一种高灵敏氢气检测的Pd/α-Ga2O3传感器及其制备方法与应用
申请号：CN202411912247
申请日期：2024-12-24
公开号：CN119780167A
公开日期：2025-04-08
类型：发明专利
摘要
本发明公开了一种高灵敏氢气检测的Pd/α‑Ga2O3传感器及其制备方法与应用，先采用雾化学气相沉积法在c面蓝宝石衬底上沉积α‑Ga2O3层，并掺入一定浓度的Sn离子，然后制备具有肖特基接触的MSM结构，用于对氢气的高灵敏检测。结果显示在5～60℃检测温度下具有高灵敏性，其在25℃对104ppm的氢气的响应值最高达到了89。
技术关键词
蓝宝石衬底
氢气
肖特基
传感器
气相沉积装置
磁控溅射沉积
阴影掩模
上沉积
乙酰丙酮
供体
外延
触点
离子
芯片
系统为您推荐了相关专利信息
多路复用器
层片状结构
气凝胶
石蜡模具
光敏树脂
电池储能系统
电网储能
充放电功率
数据处理系统
充放电策略
油样
变电站
电流环PI调节器
机器人
PID控制器
大棚系统
大棚基础
支撑构件
柔性防渗膜
喷淋装置
发电机轴承
轴承运行状态
轴承健康
修复技术
剩余使用寿命预测
