晶圆外观检测方法、装置及计算机设备

本发明公开了一种晶圆外观检测方法、装置及计算机设备。其中，所述方法包括：对各类晶圆外观的缺陷样本进行缺陷类别的标注，得到具有各类晶圆外观的缺陷标注类别的样本集，和对该具有各类晶圆外观的缺陷标注类别的样本集进行训练，生成晶圆外观的缺陷检测模型，以及根据该晶圆外观的缺陷检测模型，对晶圆外观缺陷进行检测。通过上述方式，能够实现提高对晶圆外观缺陷进行检测的检测效率和准确率。