摘要
本发明公开了一种分选固晶精度补偿方法,该方法包括以下步骤:使用分选设备对晶粒进行分选;采集不同型号基板最近一次加工时的历史数据,并对采集的历史数据根据基板型号进行分类,同时建立数据库将数据存储;将准备加工的基板与数据库中的数据进行匹配,获取历史数据的加工参数,根据历史数据中的偏差值,建立吸嘴与晶粒之间的补偿关系模型,使用历史数据中的初次加工参数作为预设加工参数,在固晶之前,利用补偿模型对预设加工参数进行调整,获得准确的初始加工参数。本发明通过收集历史数据,并根据历史偏差数据对预设参数进行补偿调整能够提高初始设置参数的准确度,同时还具有实时调整固晶位置的功能的作用,提高每次固晶的准确度。
技术关键词
精度补偿方法
基板
补偿值
图像处理算法
偏差
收集加工过程
分选设备
数据存储
拍照内容
线性回归模型
关系
拍照设备
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