一种激光同步辅助钛合金离子渗氮装置及工艺

本发明公开了一种激光同步辅助钛合金离子渗氮装置，包括离子渗氮炉和激光处理器；离子渗氮炉包括底座和钟罩式炉体，底座的底盘上安装有旋转轴，旋转轴中安装有连接阴极盘的阴极螺杆；钟罩式炉体一侧开设有观察窗，激光处理器包括激光发生器；本发明的渗氮工艺包括：一、处理钛合金工件；二、渗氮处理；三、激光辅助完成渗氮处理。本发明的装置通过对离子渗氮炉配套激光处理器，并在离子渗氮炉上安装石英玻璃，使得激光透过石英玻璃照射在钛合金工件上，实现了离子渗氮同时进行激光辅助处理，消除离子渗氮表面出现的“硬壳层”结构，提高离子渗氮层厚度和渗层截面硬度，减少高温形变；本发明的工艺简单、效率高，适用于高端精密零部件表面处理。