摘要
本发明公开了一种离体微电极阵列芯片及其制备方法,该制备方法包括清洗、吹干绝缘基底;采用3D打印技术在所述绝缘基底表面打印出微电极阵列;在微电极阵列上形成绝缘层,然后通过光刻和等离子刻蚀刻蚀绝缘层,暴露出微电极;通过电化学方法在微电极表面修饰纳米材料。该制备方法能够高效,成本较低的制备离体微电极阵列芯片。
技术关键词
微电极阵列芯片
表面修饰纳米材料
导电薄膜材料
导电聚合物
电化学方法
基底
绝缘材料
石英玻璃
光刻
聚吡咯
碳纳米管
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硬质
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