一种高灵敏度柔性温度-压力双功能传感器的解耦设计及其制备方法

本发明属于柔性传感器技术领域，涉及一种高灵敏度柔性温度‑压力双功能传感器的解耦设计及其制备方法，具体涉及一种能够同时检测外部温度刺激和压力刺激的双功能柔性传感器的制备方法。本发明的双功能传感器中温度传感器为由静电纺丝法获得的碳纳米纤维膜，基于热电阻工作机制对温度刺激具有良好的响应。双功能传感器的压力传感部分为以PDMS硅橡胶为骨架的柔性多孔压力传感器，基于压电容工作机制对压力刺激进行响应。该双功能传感器基于不同的传感机制实现了对温度信号与压力信号的完全解耦。本发明的双功能传感器制造工艺简单高效，可靠且成本低；制作出的柔性传感器灵敏度高，应用于可穿戴设备、人机交互、电子皮肤与仿生机器人等领域。