硅锭外观缺陷检测系统

本发明公开了硅锭外观缺陷检测系统，涉及缺陷检测技术领域，包括激光源模块、相机模块、图像处理模块、AI检测模块、控制与反馈模块，所述激光源模块使用200W的1300nm激光器作为照明并从侧面斜拍，所述相机模块采用两行Sensor的1K黑白线扫铟镓砷相机，并设置两套曝光参数以实现高动态范围成像，所述图像处理模块使用特定的算法对获取到的两张图像进行处理，包括行交替抽取、拼接及亮度均匀性比较，所述AI检测模块用于通过训练的AI模型对选定的图像进行分析，判断是否存在隐裂缺陷，所述控制与反馈模块控制各模块的协同工作，反馈检测结果至用户界面，提供系统状态和检测结果，本发明，具有自动化程度高的特点。