一种用于压力传感器的压力控制系统及方法

本发明涉及数据监测技术领域，是一种用于压力传感器的压力控制系统及方法，具体方法包括：根据目标刻蚀槽型建立数字孪生模型，并对数字孪生模型进行刻蚀监测单位区域的划分；实时采集待刻蚀半导体基板上各个刻蚀凹槽的刻蚀状态数据，获取各个凹槽深度层的刻蚀效率指数和刻蚀质量指数；根据刻蚀效率指数和刻蚀质量指数，动态筛选待调节的刻蚀监测单位区域，并控制压力传感器执行压力控制策略；本发明解决了现有技术中，刻蚀精度不足和刻蚀效率低下的问题。