一种芯片检测方法、系统、设备及存储介质

本申请涉及半导体检测技术领域，为一种半导体机器视觉检测方法，具体涉及一种芯片检测方法、系统、设备及存储介质。通过将图像的空间域转为频域并根据频域特征的分布情况确定是否存在缺陷；如果当具有缺陷时则对图像基于区域灰度计算确定缺陷边缘，并根据缺陷边缘获取缺陷形态。本实施例提供的方法能够解决现有技术中对于小目标缺陷或者是亚像素级别的目标缺陷检测成本较高的问题，在保证检测准确性的基础上提高了检测效率以及降低了检测成本。