一种直线旋转执行器及晶圆加工装置

本发明涉及工业机器人技术领域，具体涉及一种直线旋转执行器及晶圆加工装置。包括：转动模组、直线运动模组和连接件，转动组件包括第一旋转驱动件和转动组件，第一旋转驱动件套设于转动组件外圈，转动组件与第一旋转驱动件传动连接，转动组件的一端套设有第一轴承；直线运动模组包括第二旋转驱动件和直线运动组件，第二旋转驱动件套设于直线运动组件外圈，直线运动组件包括传动螺母和丝杆，传动螺母与第二旋转驱动件传动连接，丝杆的一端套设有第二轴承；连接件与第一轴承的外圈和第二轴承的外圈分别连接，第一轴承和第二轴承在连接件内分层设置。以解决现有技术中直线旋转执行器的联动组件，造成联动效率和精度不高的问题。