一种基板表面异物检测方法、智能清扫系统及输送设备

本发明涉及输送设备技术领域，公开了一种基板表面异物检测方法、智能清扫系统及输送设备，图像采集单元、处理器、清扫机构以及显示模块等。其中，图像采集单元可以实时采集输送线上的基板的图像数据，分析模块通过图像识别技术，可以自动识别基板表面是否异物，然后通过控制模块发出清扫指令，控制清扫机构去除目标基板上的异物，有效避免异物进入洁净车间区域后造成的一系列后续负面影响。保证洁净间区域设备的正常运行，提高生产线的产能。能够节省人力、提升基板表面清洁处理效率的同时保证基板表面异物识别清理的可靠性。