摘要
本发明提供了一种LED芯片及其制作方法,其中,LED芯片通过设置外延叠层单元,外延叠层单元至少包括:从下至上依次层叠于衬底上的第一型半导体层、有源区以及第二型半导体层;其中,在第二型半导体层上表面的边缘区域设有凹凸的微结构,微结构可以做为绝缘保护层形成过程的成核点,以提高绝缘保护层的致密性及粘附性,有利于缓解LED芯片上表面边缘区域的应力集中以提升LED芯片的防水汽能力,进而提高LED芯片的可靠性,其工艺制作简单、便捷,便于生产化。
技术关键词
叠层单元
半导体层
微结构
LED芯片
外延
光刻图形
LED发光单元
电极
衬底
光刻胶
氧化铝
绝缘
透明导电层
有源区
刻蚀工艺
层叠
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