MEMS微带表贴环行器及其制备方法

本发明提供了一种MEMS微带表贴环行器及其制备方法，属于微波器件技术领域，包括：环行器芯片以及磁屏蔽壳，环行器芯片上面设置有第一磁钢，底面设置有可伐载体；磁屏蔽壳罩设于环行器芯片的上方；磁屏蔽壳内设置有与第一磁钢极性相反的第二磁钢，且第二磁钢与第一磁钢间隔布置。本发明MEMS微带表贴环行器相较于常规微带表贴环行器具有更高的一致性、更低的损耗、更高的功率容量；通过增加定位柱，提升了微带表贴环行器的贴装精度，利于环行器的批量生产；通过增加磁屏蔽壳，大大降低了在实际贴装过程中环行器与环行器之间的相互作用，解决了在贴装过程中因环行器之间相互作用而无法准确对位的问题。