低压硼扩散设备的方阻优化方法及其相关装置

本申请涉及一种低压硼扩散设备的方阻优化方法及其相关装置，包括：从低压硼扩散设备中采集若干个温区的参数数据和若干个小舟的方阻数据；根据参数数据和方阻数据，计算得到若干个关键参数；根据方阻数据和关键参数，构建方阻结果预测模型；对方阻结果预测模型进行优化，在方阻结果预测模型的输出处于第一阈值范围时，得到关键参数的数值。本申请提供的方案，能够通过对低压硼扩散设备的工艺参数进行优化，提高光伏电池的方阻均匀性，提高光伏电池的良率和生产效率。