高精度宽调谐混合集成外腔半导体激光器及调谐方法

本发明公开了一种高精度宽调谐混合集成外腔半导体激光器及调谐方法，包括半导体光放大器(1)、SiO2扩展芯片(2)以及计算机(3)，SiO2扩展芯片(2)上集成硅基环形谐振滤波器(02)，硅基环形谐振滤波器(02)包括第一微环谐振器(001)和第二微环谐振器(002)，第一微环谐振器(001)和第二微环谐振器(002)串联，利用波导热光效应调节其波导折射率，实现波长“粗”调谐，获取宽波长调谐范围；SiO2扩展芯片(2)上集成移相器(04)，所述移相器(04)用于精细调谐腔长，实现波长“精”调谐。本发明在SiO2扩展芯片上集成微型光谱仪，反馈波长信息，实现获取高波长调谐精度。