堆叠螺旋差分电感结构及制作方法

本发明提供了一种堆叠螺旋差分电感结构及制备方法，该堆叠螺旋差分电感结构包括堆叠设置的多个电感单元，以形成第一堆叠电感结构和第二堆叠电感结构。通过所述第一堆叠电感结构和第二堆叠电感结构能够实现良好的差分结构，使得所述堆叠螺旋电感结构具有良好的差分性能，从而所述堆叠螺旋差分电感结构的电感效率以及抗干扰性能够得到提高。此外，由于电感单元是堆叠设置的，使得所述堆叠螺旋差分电感结构占用芯片面积较小，从而能够提高芯片的面积使用率。