摘要
本发明实施例公开了一种芯片及其封装方法、电子设备,涉及集成电路封装技术领域,能够有效降低信号的回波损耗,提升信号完整性。所述芯片包括晶粒以及依次设置的支撑板和互联层;所述支撑板上设置有用于容纳所述晶粒的腔体,所述腔体的开口方向朝向所述互联层;所述互联层包括交替堆叠的金属图案层和介质层,其中,所述腔体的开口暴露所述金属图案层,暴露的所述金属图案层耦合所述晶粒;所述芯片还包括设置于所述腔体表面的粘合层,所述粘合层用于将晶粒与所述腔体表面固定。本发明实施例适用于芯片封装中。
技术关键词
金属图案层
金属触点
封装基板
腔体
凸块
集成电路封装技术
介质
芯片封装方法
中介层
电子设备
防氧化层
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