一种芯片生产用的芯片清洗装置

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一种芯片生产用的芯片清洗装置
申请号:CN202421256223
申请日期:2024-06-04
公开号:CN222535705U
公开日期:2025-02-28
类型:实用新型专利
摘要
本实用新型属于芯片清洗技术领域,尤其为一种芯片生产用的芯片清洗装置,包括皮带输送机以及主机箱,在所述主机箱内设有浸洗机构,所述浸洗机构包括:清洗箱,清洗箱内固定有隔板,所述隔板将所述清洗箱的内部空间分隔为风干仓与浸洗仓;载料托盘,所述载料托盘包括框架、多孔载料板、带孔安装耳与一号驱动电机;驱动组件;多孔过滤板;风扇;浸洗液抽出口,所述浸洗液抽出口固定在所述清洗箱上并与所述浸洗仓的内部空间相通;本实用新型中,通过驱动组件作为动力源驱动载料托盘沿竖直方向和水平方向移动,可将芯片充分浸洗,还可将芯片输送至风干仓内进行风干,以及将芯片下放至皮带输送机上输送至下一工位处,清洗效率得到大幅度提升。
技术关键词
芯片清洗装置 多孔过滤板 载料托盘 主机箱 清洗箱 皮带输送机 驱动组件 载料板 移动座 风干仓 洗液 安装耳 密封衬垫 芯片清洗技术 带孔 螺纹杆 导向杆 框架 隔板
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