一种探针测试系统

本申请提供一种探针测试系统，主要包括：载物层，所述载物层用于承载待测芯片；感压系统，所述感压系统可拆卸的设置在所述载物层下方，所述感压系统包括至少一个压力传感器阵列，所述压力传感器阵列用于获取测试探针当前作用于所述待测芯片的位置信息，并基于所述位置信息和所述待测芯片的测试点，确定所述测试探针的移动方向和移动距离。本申请可以通过感压系统获取测试探针当前作用于所述待测芯片的位置信息，提高获取EFA结果的效率和成功率。